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產品類型 石墨模具
產品品牌 捷誠
產品簡介 外延生長爐:在SiC外延生長中承受1600℃/H2氛圍接連運轉,抗HCl氣體腐蝕速率<0.1mg/cm2·h,確保外延層厚度波動<±1.5%。

捷誠石墨

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商品描述

石墨舟皿的使用場景:先進制作的要害支撐
石墨舟皿在以下領域發揮不行代替效果:
半導體工作
    晶圓傳輸體系:滿意12英寸晶圓ALD設備的潔凈度要求(NAS 1638 Class 3級),定位精度誤差≤±0.005mm,抗靜電表面電阻率1×103-1×10?Ω·cm。
    外延生長爐:在SiC外延生長中承受1600℃/H2氛圍接連運轉,抗HCl氣體腐蝕速率<0.1mg/cm2·h,確保外延層厚度波動<±1.5%。
光伏工作
    PERC電池片銀漿燒結:在5分鐘內完成室溫→800℃→冷卻的劇烈溫變,表面溫差<±2℃(傳統載具±15℃),碎片率從0.5%降至0.02%,單次工藝能耗下降18%。
硬質合金燒結
    氫氣脫膠與真空燒結:通過W型斜槽結構使產品受熱均勻,處理長條薄片產品脫膠不均、翹曲變形問題,一同支撐最大單件長度1200mm的承載需求。

石墨舟皿

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