熱場(chǎng)一般包括(石墨材料)壓環(huán)、隔熱罩、上、中、下隔熱罩、石墨坩堝(三瓣坩堝)、坩堝支撐桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流管、石墨螺栓。為了防止漏硅，爐底、金屬電極和支撐桿都有保護(hù)板和保護(hù)套。

  單晶爐石墨熱場(chǎng)_等靜壓石墨熱場(chǎng)_ 石墨熱場(chǎng)系統(tǒng)簡(jiǎn)單來(lái)說就是用來(lái)拉單晶硅的完整的石墨加熱系統(tǒng)。常見的有18寸石墨熱場(chǎng)。？單晶石墨熱場(chǎng)以22寸和24寸為主。一種流行的設(shè)計(jì)方案是用石墨材料制作熱場(chǎng)隔熱件。標(biāo)準(zhǔn)的石墨絕熱材料由片狀或毯狀石墨化碳纖維組成，在靠近熱場(chǎng)中心的內(nèi)表面往往涂有一層石墨紙或碳-碳復(fù)合片，以提高熱反射率，防止高壓氣流的侵蝕。由于石墨材料本身的多孔性和滲透性，不需要在隔熱材料層之間預(yù)留額外的空間。石墨具有優(yōu)異的隔熱性能，其成本通常低于金屬屏，并且非常易于使用。就制造成本、可靠性和可維護(hù)性而言，石墨絕緣軟氈優(yōu)于石墨絕緣硬氈。通過生產(chǎn)實(shí)踐，金屬隔熱罩往往不適合環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。

   焊料中的金屬物質(zhì)會(huì)沉積在金屬隔熱罩的表面。由于隔熱罩的熱膨脹系數(shù)與附著的焊料物質(zhì)的熱膨脹系數(shù)不同，金屬隔熱罩會(huì)彎曲斷裂，降低金屬隔熱罩的隔熱性能。在釬焊合金濺射的情況下，金屬篩網(wǎng)容易損壞，導(dǎo)致篩網(wǎng)表面上的孔，熱量將從這些孔傳遞。

    當(dāng)然，使用較厚的金屬屏，尤其是鉬合金屏，會(huì)延長(zhǎng)金屬熱場(chǎng)的使用壽命，但會(huì)增加可觀的成本。比較好的解決辦法是用石墨材料做保溫部件。實(shí)踐證明，雖然在釬焊過程中會(huì)有大量焊料沉積在石墨隔熱材料表面，但熔化的焊料與石墨隔熱材料之間不會(huì)發(fā)生熔合。雖然有人可能會(huì)懷疑石墨材料比金屬材料更容易吸水，水對(duì)釬焊過程有害，但實(shí)踐證明，熱場(chǎng)的反復(fù)加熱和冷卻可以有效地消除石墨絕熱材料中的水。