本實(shí)用新型涉及一種超高純石墨熱場半導(dǎo)體級單晶硅爐。當(dāng)它運(yùn)行時(shí)，工作人員會(huì)首先將整個(gè)設(shè)備移動(dòng)到一個(gè)合適的環(huán)境中。取石墨熱場13時(shí)，先打開密封蓋3，再轉(zhuǎn)動(dòng)手輪16，帶動(dòng)主動(dòng)軸14轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)兩組滑輪17和從動(dòng)軸15轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)兩組轉(zhuǎn)軸6和滑輪7轉(zhuǎn)動(dòng)。從儲(chǔ)物箱1中提起儲(chǔ)物架9，直到石墨熱場13從儲(chǔ)物箱1中露出，然后取出所需的石墨熱場13。取出后，反方向轉(zhuǎn)動(dòng)手輪16，同時(shí)帶動(dòng)兩組轉(zhuǎn)軸6反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，松開兩組鋼絲繩11，使儲(chǔ)物架9沉入儲(chǔ)物盒1中，然后蓋上密封蓋3。工作人員可以升起觀察窗23來檢查存儲(chǔ)情況。