石墨模具拋光的重要性
2024年05月07日
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石墨模具
石墨模具拋光的重要性
在半導體制作過程中，石墨模具首要用于承載和保護軟弱的芯片，一起起到傳遞熱量的作用。石墨模具的表面質量直接影響著芯片的成型和光潔度，因此，對石墨模具進行拋光是制作高品質半導體器件的關鍵步驟之一。拋光后的石墨模具表面應潤滑、平坦、無劃痕，以保證芯片表面的光潔度和精度。
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