作為半導(dǎo)體石墨模具的材料應(yīng)具備什么性能
2022年05月26日
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石墨模具
一、電子設(shè)備的燒結(jié)
石墨模具可用于各類可控硅管、三極管、二極管等設(shè)備的管芯燒結(jié)。如果用高頻爐熔煉法生產(chǎn)單晶,也要用石墨舟。
二、絕緣子燒結(jié)模具
石墨模具適用于燒結(jié)電容器絕緣體;燒結(jié)厚膜集成電路絕緣體;各類三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié);超小型繼電器、連接器等元件的絕緣體燒結(jié)模具等。
半導(dǎo)體工業(yè)對石墨材料的要求特別高,粒度細的石墨具有高精度、耐高溫、高強度、低損耗等優(yōu)點,如:燒結(jié)用石墨模具。由于半導(dǎo)體工業(yè)中使用的石墨設(shè)備(包括加熱器及其燒結(jié)模具)需要承受反復(fù)的加熱和冷卻過程,為了延長石墨設(shè)備的使用壽命,通常要求使用的石墨材料應(yīng)具有穩(wěn)定的性能和抗熱震性。為了滿足上述要求,中國現(xiàn)已開發(fā)出一系列適用于半導(dǎo)體行業(yè)的石墨材料。
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