石墨盤的物理特性相關(guān)特點(diǎn)
石墨盤的物理特性相關(guān)特征
耐高溫性超卓
石墨具有極高的熔點(diǎn),通常在3652℃ - 3697℃之間,這使得石墨盤可以在極點(diǎn)高溫環(huán)境下安穩(wěn)作業(yè)。例如在半導(dǎo)體制造的高溫?cái)U(kuò)散工藝中,溫度可達(dá)1000℃ - 1300℃,石墨盤能承受這樣的高溫而不發(fā)生熔化或變形,保證工藝的順利進(jìn)行。
在高溫環(huán)境下,石墨盤還能堅(jiān)持較好的物理安穩(wěn)性,不會(huì)因溫度改動(dòng)而發(fā)生明顯的熱膨脹或縮短,保證了加工或反響過程中的規(guī)范精度。
導(dǎo)熱功用優(yōu)異
石墨的導(dǎo)熱系數(shù)較高,其水平方向的導(dǎo)熱系數(shù)可達(dá)100 - 400W/(m·K) ,筆直方向也有必定導(dǎo)熱才調(diào)。以大型真空爐中的石墨盤為例,它可以快速均勻地將熱量傳遞給放置在其上的工件,使工件受熱均勻,避免部分過熱或過冷,跋涉產(chǎn)品質(zhì)量和出產(chǎn)功率。
超卓的導(dǎo)熱性還有助于快速散熱,在一些需求快速冷卻的工藝中,石墨盤可以迅速將熱量宣告出去,縮短出產(chǎn)周期。
自潤滑功用佳
石墨的層狀結(jié)構(gòu)使其具有超卓的自潤滑性。在高速旋轉(zhuǎn)或往復(fù)運(yùn)動(dòng)的設(shè)備中,如某些精密機(jī)械的旋轉(zhuǎn)部件上運(yùn)用的石墨盤,即便沒有額定的潤滑劑,也能減少與接觸物體之間的抵觸和磨損。
這種自潤滑功用可以下降設(shè)備的能耗,減少因抵觸發(fā)生的熱量,延伸設(shè)備的運(yùn)用壽數(shù),一起還能下降噪音。
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