石墨舟皿的運用場景：先進(jìn)制作的要害支撐
石墨舟皿在以下領(lǐng)域發(fā)揮不行代替效果：
半導(dǎo)體作業(yè)
    晶圓傳輸體系：滿足12英寸晶圓ALD設(shè)備的潔凈度要求（NAS 1638 Class 3級），定位精度誤差≤±0.005mm，抗靜電表面電阻率1×103-1×10?Ω·cm。
    外延成長爐：在SiC外延成長中承受1600℃/H2氣氛連續(xù)工作，抗HCl氣體腐蝕速率<0.1mg/cm2·h，確保外延層厚度動搖<±1.5%。
光伏作業(yè)
    PERC電池片銀漿燒結(jié)：在5分鐘內(nèi)完結(jié)室溫→800℃→冷卻的劇烈溫變，表面溫差<±2℃（傳統(tǒng)載具±15℃），碎片率從0.5%降至0.02%，單次工藝能耗下降18%。
硬質(zhì)合金燒結(jié)
    氫氣脫膠與真空燒結(jié)：經(jīng)過W型斜槽結(jié)構(gòu)使產(chǎn)品受熱均勻，處理長條薄片產(chǎn)品脫膠不均、翹曲變形問題，一起支撐最大單件長度1200mm的承載需求。

想要了解更多石墨舟皿的內(nèi)容，可聯(lián)系從事石墨舟皿多年，產(chǎn)品經(jīng)驗豐富的滑小姐：13500098659。