石墨熱場(chǎng)一般由以下要害部件構(gòu)成：
    加熱器：選用等靜壓石墨或高純石墨制成，支持2000℃以上安穩(wěn)加熱，保證硅料熔融及晶體成長(zhǎng)所需溫度。
    石墨坩堝：三瓣式規(guī)劃避免硅液泄露，使用壽命達(dá)30-50爐次，保障單晶硅成長(zhǎng)的連續(xù)性。
    隔熱體系：由多層石墨氈或碳纖維復(fù)合材料構(gòu)成，熱反射率≥90%，下降能耗20%-30%，同時(shí)避免熱量外泄。
    導(dǎo)流筒與電極：導(dǎo)流筒優(yōu)化熱場(chǎng)氣流分布，電極選用石墨材料保證電流安穩(wěn)傳導(dǎo)，減少能量損耗。
    維護(hù)部件：爐底、金屬電極、托桿等方位設(shè)置維護(hù)板或維護(hù)套，避免漏硅及機(jī)械危害。

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