加熱到預定溫度后，真空爐石墨件需要在該溫度下保溫一段時間，以保證熱處理作用。保溫結束后，真空爐石墨件需要進行冷卻，一般是經過操控冷卻速率來完成不同的熱處理作用。真空熱處理爐一般配備有高效的冷卻系統，以保證快速且均勻地冷卻工件。

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