石墨熱場的工作原理
2025年08月27日
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石墨熱場
石墨熱場的作業原理
石墨熱場經過電能轉化為熱能,運用石墨的高導熱性(導熱系數達100-400 W/(m·K))實現熱量快速均勻分布。其作業進程可分為以下階段:
加熱階段:電流經過石墨電極導入加熱器,石墨材料敏捷升溫至1414℃以上,熔化硅料。
溫度控制階段:經過調度電流強度及熱場梯度分布,保持單晶生長所需的安穩溫度場,下降晶體缺陷率。
隔熱與保溫階段:多層石墨隔熱材料削減熱量丟掉,保證熱場中心區域溫度均勻性,進步出產功率。

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