單晶硅爐用石墨熱場是什么?
2023年08月25日
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真空爐
單晶硅爐用石墨熱場,是一個集物理、化學、幾何歸納理論為一體,專門研究人員通過多年反復考證,多年經(jīng)驗總結制定。
單晶硅爐熱場選用細結構中粗石墨做爐底護盤。保溫罩、上下蓋選用進口等靜壓石墨做加熱器、坩鍋、導流簡、托桿、鍋托等,保證了石墨坩堝的強度及純度。
熱場是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其材質(zhì)好壞直接影響熱場壽數(shù)。

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