直拉法單晶硅生長(zhǎng)工藝中，對(duì)于熱場(chǎng)的拆、裝，均為純?nèi)斯げ僮鳎F(xiàn)有的單晶爐熱場(chǎng)安裝方式由人工直接靠目視對(duì)中，安裝熱場(chǎng)時(shí)從爐底開(kāi)始向上安裝，下部安裝對(duì)中質(zhì)量直接影響上部熱場(chǎng)的對(duì)中，影響單晶爐上部與導(dǎo)流筒的配合情況，嚴(yán)重可能導(dǎo)致導(dǎo)流筒石墨組件損壞，不對(duì)中影響加熱器到熱場(chǎng)四周距離的一致性，可能出現(xiàn)加熱器打火損壞和熱場(chǎng)溫度分布，影響單晶的拉制。