石墨熱場通常由以下要害部件構成：
    加熱器：選用等靜壓石墨或高純石墨制成，支持2000℃以上穩定加熱，保證硅料熔融及晶體生長所需溫度。
    石墨坩堝：三瓣式設計避免硅液走漏，使用壽命達30-50爐次，保障單晶硅生長的連續性。
    隔熱系統：由多層石墨氈或碳纖維復合資料構成，熱反射率≥90%，下降能耗20%-30%，同時避免熱量外泄。
    導流筒與電極：導流筒優化熱場氣流分布，電極選用石墨資料保證電流穩定傳導，削減能量損耗。
    保護部件：爐底、金屬電極、托桿等方位設置保護板或保護套，避免漏硅及機械損傷。