石墨熱場的作業(yè)原理
    石墨熱場經(jīng)過電能轉(zhuǎn)化為熱能，使用石墨的高導(dǎo)熱性（導(dǎo)熱系數(shù)達(dá)100-400 W/(m·K)）實現(xiàn)熱量快速均勻分布。其作業(yè)進(jìn)程可分為以下階段：
    加熱階段：電流經(jīng)過石墨電極導(dǎo)入加熱器，石墨材料迅速升溫至1414℃以上，熔化硅料。
    溫度控制階段：經(jīng)過調(diào)理電流強(qiáng)度及熱場梯度分布，保持單晶生長所需的穩(wěn)定溫度場，下降晶體缺陷率。
    隔熱與保溫階段：多層石墨隔熱材料減少熱量流失，保證熱場中心區(qū)域溫度均勻性，提高出產(chǎn)功率。