真空熱處理爐是真空技術(shù)和爐腔內(nèi)熱處理的混合體，用于在接近真空或部分真空的狀態(tài)下進(jìn)行熱處理。根據(jù)真空爐的要求，真空狀態(tài)可分為低、中、高、超高真空系統(tǒng)。目前，大多數(shù)真空熱處理爐的工作真空度為1.33 ~ 1.33× 10 ˉ Pa。

1.高真空系統(tǒng)
高真空系統(tǒng)適用于真空度為6.6×10 ~ 1.333×10ˊpa的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐等。它通常由三級真空泵單元組成。主泵通常是油擴(kuò)散泵和離子泵，初級泵多為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或滑閥機(jī)械泵。  

2.低真空系統(tǒng)
低真空系統(tǒng)適用于真空度為2 ~ 1333 Pa的真空熱處理爐，如預(yù)抽低真空井式爐。大多數(shù)油封旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵是主泵。

3.中真空系統(tǒng)中的真空系統(tǒng)適用于真空度為3X10~~1.333Pa的真空熱處理爐，真空熱處理爐廣泛采用真空系統(tǒng)，通常由兩級真空泵機(jī)組組成。主泵多采用旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵或滑閥式機(jī)械泵，主泵采用機(jī)械增壓泵或油增壓泵。