在清潔真空氣氛爐的過程中，首先要用保護氣體盡快將整個爐內的空氣趕走。一般來說，保護氣體應在電爐溫度上升之前進入爐內。它們可以通過不同的進氣口進入其中，排氣口的針閥要開到最大，讓空氣盡快排出。

一般來說，如果保護氣體的體積是真空氣氛爐的十倍左右，爐內的氧濃度可以降低到十毫帕斯卡左右。在這種情況下，當爐內氧氣濃度符合產品工藝時，可關小整個排氣口的針閥，最大限度地節省爐內保護氣體的使用。然后，關閉整個爐口，通過流速使用入口。在使用過程中，內部必須

此外，還可以用真空泵抽真空，將整個設備的任意一個排氣口與真空軟管的位置相連，對整個爐腔進行預抽真空，通入保護氣體，然后將真空氣體完全排出。