真空系統(tǒng)工作時，先啟動機械泵、維持泵和擴散泵（加熱），同時打開前閥和維持泵閥，對擴散泵內(nèi)進行抽真空。當(dāng)真空度達到系統(tǒng)某設(shè)定值時，羅茨泵啟動，同時旁路閥打開，前閥關(guān)閉，此時對真空室進行抽低真空當(dāng)擴散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時，高閥打開，旁路閥關(guān)閉，前閥打開。此時對真空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完成整個工藝過程。