用真空爐工作時，最重要的是發熱。在加熱過程中，加熱速度要快。所選用的發熱材料必須保證良好的導熱性，不能在高溫下產生變形和大量熱損失，這樣在使用過程中性能要穩定一段時間。
在選擇發熱元件時，也要根據自己的需要對待產品的化學性質，防止發熱元件的材質影響工件質量。所以真空爐要合理選擇發熱元件。
常用的加熱元件是石墨和不銹鋼。
石墨發熱元件:石墨具有耐高溫、熱膨脹小、抗熱震性強等特點。其機械強度在破碎溫度升至2500℃以下時提高，最佳溫度在1700℃左右，超過所有氧化物和金屬。石墨熔點高，蒸汽壓低，真空爐氣氛中碳的濃度低，會與殘留氣體中的氧氣和水蒸氣反應產生凈化作用，大大簡化了真空系統，降低了成本。在真空爐的制造過程中，熱處理常用的加熱元件是石墨，包括其爐膛支架、隔熱屏、連接板、連接螺母、通氣管等。
不銹鋼發熱元件:體積小，功率大，熱響應快，控溫精度高，綜合熱效率高，應用范圍廣，適應性強，加熱溫度高，使用壽命長，可靠性高。機械化程度高，可根據客戶要求彎成各種形狀，輕便易拆卸。結構簡單，用料少，成本低，使用壽命長，熱轉換率高，節約能源。